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無塵車間廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定：1、應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域2、應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、倉儲、堆場等有嚴重空氣污染，振動或噪聲干擾的區(qū)域，當不能遠離嚴重空氣污染源時，應(yīng)位于1大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)3、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人1流、物流不穿越或少穿越的地段4、對于兼有微振控制要求的無塵車間廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備，精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定5、無塵車間廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的近距離宜大于50M6、無塵車間廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道7、無塵車間廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好，發(fā)塵少的材料8、無塵車間廠房應(yīng)進行綠化，可鋪植草坪，不應(yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物。
無塵車間潔凈室（區(qū)）與周圍的空間必須維持在一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。1、不同等級的無塵車間潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。2、無塵車間潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定3、送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖，正壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機，關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反，負壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反4、非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進行凈化空調(diào)處理。
千級無塵車間代表什么意思? 每立方將低于0.5μm粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個下列，就做到了國際性潔凈標準的A1級。現(xiàn)階段運用在芯片級生產(chǎn)制造的潔凈標準針對塵土的規(guī)定高過A1級，那樣的高標準關(guān)鍵被運用在一些級別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴格控制在每立方1000個之內(nèi)，這也就是說業(yè)界別名級別中的千級。 千級無塵車間的標準，微塵總數(shù)被嚴格控制在每立方1000個之內(nèi)，這也就是說業(yè)界千級無塵車間的含意。（1000級的定義是：每立方英寸內(nèi),大于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆）。 無塵車間級別標準劃分 潔凈室等級標準ISO14644依據(jù)飄浮粒子濃度值這唯1指標值來劃分凈化室(區(qū))及有關(guān)控制計劃自然環(huán)境中氣體潔凈度等級的級別，而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范圍之內(nèi)總計遍布的粒子群。
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